電子工業(yè)潔凈室除有一般給排水要求外，還有純水要求。我國(guó)電子級(jí)的純水技術(shù)指標(biāo)如下圖所示。
圖1
從上面圖可見(jiàn)，水質(zhì)中對(duì)微生物的量也有很嚴(yán)的要求。
硅是以有機(jī)物和化合物的形式在硅片上留下痕跡的。金屬的影響將降低產(chǎn)品壽命。
潔凈度級(jí)別（ISO）在高于6級(jí)（不含）時(shí)，室內(nèi)不應(yīng)設(shè)地漏，6級(jí)室內(nèi)必須設(shè)地漏時(shí)，應(yīng)采用潔凈專用地漏，7級(jí)及其以上潔凈室不宜設(shè)排水溝，如必須設(shè)時(shí)，應(yīng)在進(jìn)入室外管網(wǎng)處設(shè)水封，此類等級(jí)潔凈室也不允許排水立管在室內(nèi)穿過(guò)電子工業(yè)潔凈室純水供應(yīng)一般采用單管式循環(huán)系統(tǒng)，當(dāng)對(duì)水質(zhì)要求十分嚴(yán)格時(shí)，應(yīng)采用雙管式循環(huán)系統(tǒng)（例如單晶硅圓片的生產(chǎn)）純水管材質(zhì)可以在以下幾種材質(zhì)中選擇:
低碳優(yōu)質(zhì)不銹鋼管（304、304L、316、316L）、聚氯乙烯管、聚丙烯管、丙烯腈丁二烯苯乙烯管、聚偏二氟乙烯管
電子工業(yè)潔凈室常大量使用氫氣、氧氣、氮?dú)狻鍤夂秃獾龋彩褂靡恍┨厥鈿怏w，如硅烷等有毒和有爆炸危險(xiǎn)的氣體。
設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w管道的場(chǎng)所，列人甲類火災(zāi)危險(xiǎn)區(qū)。氫氣、氧氣管道的末端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)高于屋面最高處1m以上的放散管。日用量不超過(guò)1瓶時(shí)，氣瓶可放在潔凈室內(nèi)。
特種氣體存放量不得超過(guò)1d的用量。可燃和有毒的特種氣體瓶應(yīng)設(shè)在通風(fēng)柜中，不間斷通風(fēng)。硅烷或硅烷混合物只能單瓶存放于氣柜中。
氣體管道中的氣體露點(diǎn)低于60℃時(shí)，管道內(nèi)壁應(yīng)拋光。
電子工業(yè)潔凈室的生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機(jī)房、站房等處均應(yīng)設(shè)火災(zāi)探測(cè)器，在空調(diào)凈化系統(tǒng)與新風(fēng)混合前的回風(fēng)管道中設(shè)置早期火災(zāi)探測(cè)器。
電子工廠潔凈用房用電等級(jí)和供配電要求除考慮生產(chǎn)工藝外，應(yīng)遵循國(guó)標(biāo)《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》的規(guī)定，這里不再說(shuō)明。